晶圆片平整度检测   激光位移传感器三角测量原理

    晶圆片的平整度不足会导致封装过程的热应力发生变化，影响芯片的正常使用，因此对晶圆片表面光洁度的要求都非常高，支持镜面反射型安装，可在晶圆片上多点取值判断平整度。

最高采样频率可达590kHz

静态重复精度可达0.02μm

光亮自动调节，适用各种检测环境