直线电机平台

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直线电机平台直线电机,力矩电机,管型电机,音圈电机,半导体封装设备专用电机


直线电机平台   微型平台

平台采用敞开式结构，方便拆装维护
内置光栅或磁栅反馈系统，分辨率可选O.lµm, 0.5µm, lµm, 5µm 采用动磁式平板直线电机
重复精度达到土l µm
体积小，结构简单，适应于轻负载高精度的场合
可任意架构成XY十字平台